一、柔性檢具具有一些傳統檢具沒有的特別優勢，主要包括：一個柔性檢具稍作調整就可測量不同的產品（一對多或可調、節約存儲空間、部件均可以重復使用）、自動測量、數據自動記錄、測量精度高、不怕變形（維護成本低）、開發周期短等。
二、柔性檢具是傳統檢具的重要補充，有些場合比如空間小不易安裝測頭的時候只能使用傳統檢具。柔性檢具還無法完全替代傳統檢具。
三、柔性檢具的精度是通過測頭精度來保證的。由于測頭可以重置歸零，即使工裝精度低或變形，只要重新將測頭歸零，系統可以自動完成補償，基本不會影響使用。
四、柔性檢具采用了測頭方式測量誤差，所以測點是離散的；而傳統檢具是參考型面為測量基準，測量點是連續的。柔性檢具是自動測量，需要穩定的電源；傳統檢具通常是純機械測量，一般不需要電源。
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